Trichlorsilan

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CG-101 (CAS Nr. 10025-78-2)
CG-102 (CAS Nr. 2487-90-3)
CG-201 (CAS Nr. 2550-06-3)
CG-202 (CAS Nr. 5089-70-3)
CG-203 (CAS Nr. 2530-87-2)
CG-205 (CAS Nr. 18171-19-2)
CG-501 (CAS Nr. 681-84-5)
CG-502 (CAS Nr. 78-10-4)
CG-Si69 (CAS Nr. 40372-72-3)
CG-Si75 (CAS Nr. 56706-10-6)

Das Einatmen von Trichlorsilan bei höheren Konzentrationen kann zu Verletzungen an den Nasengänge, des Kehlkopfes und der Lunge führen.